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PVD鍍膜機中氬氣的作用是什么?

時間:2020-08-19    點擊數(shù):

AR+2是一種惰性氣體(類似于氦氣,氖氣,氙氣。都屬于惰性氣體里面的),PVD(物理氣相沉積)中,它是作為工作氣體使用的,他的作用主要是用于PVD中的輝光(清洗),沉膜時的工作氣體等。

因為它是惰性家族中的氣體這一,活性沒有其它(如乙炔,甲烷,氮氣,氧氣)氣體強;生產(chǎn)中,用氬氣作為工作氣體的主要是從經(jīng)濟上考量,成本相對于其它惰性氣體是最便宜的,其次是氦氣(在PVD或真空中),它用于檢漏。

本文網(wǎng)址:http://tiexinren.cn/news/444.html

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